高性能な磁気センサを開発しています。超電導量子干渉素子（SQUID: Superconducting QUantum Interference Device)と呼ばれ、 超電導の量子効果を応用した高感度磁気センサです。酸化物積層技術を駆使して他ではマネのできない構造を有する高温超電導SQUIDチップを作製しています。 例えば15mm×15mm基板に大きな検出コイルを設置して微弱な磁気信号を集めます。200μm×200μmのエリアに作製した渦巻きコイルを介してSQUIDに信号を高効率で伝達します。 SQUIDに必要なジョセフソン接合にはランプエッジ型と呼ばれる方式を採用しています。これによって外部磁場の擾乱に耐性のある素子を実現します。

参考：

S. Adachi, A. Tsukamoto, T. Hato, J. Kawano, and K. Tanabe, IEICE Trans. Electron., Vol. E95-C, No.3, pp.337-345 (2012).

田辺圭一,　電子情報通信学会誌Vol.97, pp.222-226（2014）.

素子作製技術

高温超電導積層構造作製技術

高温超電導SQUIDの作製　－　積層技術で高感度高磁場耐性を実現！　－